Die Van-der-Pauw-Messmethode dient zur Bestimmung des elektrischen Flächenwiderstandes und des Hall-Koeffizienten dünner, homogener Schichten beliebiger Form. In der Halbleiterindustrie spielen Messungen des spezifischen Widerstands und des Hall-Koeffizienten eine große Rolle, da sich aus diesen beiden Größen die Ladungsträgerkonzentration und -beweglichkeit ermitteln lässt. Erstmals beschrieben wurde die Messmethode von Leo J. van der Pauw im Jahr 1958.

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  • Die Van-der-Pauw-Messmethode dient zur Bestimmung des elektrischen Flächenwiderstandes und des Hall-Koeffizienten dünner, homogener Schichten beliebiger Form. In der Halbleiterindustrie spielen Messungen des spezifischen Widerstands und des Hall-Koeffizienten eine große Rolle, da sich aus diesen beiden Größen die Ladungsträgerkonzentration und -beweglichkeit ermitteln lässt. Erstmals beschrieben wurde die Messmethode von Leo J. van der Pauw im Jahr 1958. (de)
  • Die Van-der-Pauw-Messmethode dient zur Bestimmung des elektrischen Flächenwiderstandes und des Hall-Koeffizienten dünner, homogener Schichten beliebiger Form. In der Halbleiterindustrie spielen Messungen des spezifischen Widerstands und des Hall-Koeffizienten eine große Rolle, da sich aus diesen beiden Größen die Ladungsträgerkonzentration und -beweglichkeit ermitteln lässt. Erstmals beschrieben wurde die Messmethode von Leo J. van der Pauw im Jahr 1958. (de)
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  • A Method of Measuring the Resistivity and Hall Coefficient on Lamellae and Arbitrary Shape (de)
  • A method of measuring specific resistivity and Hall effect of discs of arbitrary shape (de)
  • Messung des spez. Widerstandes und des hall-Koeffizienten an Scheibchen beliebiger Form (de)
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  • Philips Technical Review
  • Philips Technische Rundschau
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  • Van-der-Pauw-Messmethode (de)
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