Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff, konkret ist damit meist Chemical-dry-etching-Verfahren (CDE) gemeint.

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  • Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff, konkret ist damit meist Chemical-dry-etching-Verfahren (CDE) gemeint. (de)
  • Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz-Verfahren, das besonders in der Halbleiter-, Mikrosystem- und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff, konkret ist damit meist Chemical-dry-etching-Verfahren (CDE) gemeint. (de)
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  • Plasmaätzen (de)
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