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- Excimerlaser sind Gaslaser, die elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich erzeugen können. Anwendungsbeispiele sind die operative Korrektur der Kurzsichtigkeit, die Fotolithografie zur Herstellung hochintegrierter Halbleiter-Bauelemente oder die Mikro-Materialbearbeitung (z. B. das „Bohren“ extrem feiner Düsen für Tintenstrahldrucker). Das Wort Excimer wird aus der Zusammenziehung des englischen excited (dt. angeregt) und des Begriffs Dimer gebildet und bezeichnet das laseraktive Medium. Ein Dimer besteht grundsätzlich aus zwei gleichen Atomen oder Molekülen. Allerdings werden heute vorrangig Edelgas-Halogenide als laseraktives Medium eingesetzt. Somit lautet die korrekte Bezeichnung eigentlich Exciplexlaser (aus excited und complex), aber dieser Name wird in der Praxis selten verwendet. Der erste Excimerlaser wurde 1970 von Nikolai Bassow, W. A. Danilitschew und Ju. M. Popow am P. N. Lebedew-Physikinstitut in Moskau konstruiert. Sie benutzten das Xenon-Dimer Xe2 und einen Elektronenstrahl zur Anregung. Der erste kommerzielle Excimerlaser wurde 1977 von Lambda Physik gebaut. (de)
- Excimerlaser sind Gaslaser, die elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich erzeugen können. Anwendungsbeispiele sind die operative Korrektur der Kurzsichtigkeit, die Fotolithografie zur Herstellung hochintegrierter Halbleiter-Bauelemente oder die Mikro-Materialbearbeitung (z. B. das „Bohren“ extrem feiner Düsen für Tintenstrahldrucker). Das Wort Excimer wird aus der Zusammenziehung des englischen excited (dt. angeregt) und des Begriffs Dimer gebildet und bezeichnet das laseraktive Medium. Ein Dimer besteht grundsätzlich aus zwei gleichen Atomen oder Molekülen. Allerdings werden heute vorrangig Edelgas-Halogenide als laseraktives Medium eingesetzt. Somit lautet die korrekte Bezeichnung eigentlich Exciplexlaser (aus excited und complex), aber dieser Name wird in der Praxis selten verwendet. Der erste Excimerlaser wurde 1970 von Nikolai Bassow, W. A. Danilitschew und Ju. M. Popow am P. N. Lebedew-Physikinstitut in Moskau konstruiert. Sie benutzten das Xenon-Dimer Xe2 und einen Elektronenstrahl zur Anregung. Der erste kommerzielle Excimerlaser wurde 1977 von Lambda Physik gebaut. (de)
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- Processing applications with the 157-nm fluorine excimer laser (de)
- History and future prospects of excimer laser technology (de)
- Processing applications with the 157-nm fluorine excimer laser (de)
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- D. Basting, K. Pippert, U. Stamm
- P. R. Herman, K. R. Beckley, B. C. Jackson, D. Moore, J. Yang, K. Kurosawa, T. Yamanishi
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- Proc. SPIE 2992, Excimer Lasers, Optics and Applications
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- Excimerlaser sind Gaslaser, die elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich erzeugen können. Anwendungsbeispiele sind die operative Korrektur der Kurzsichtigkeit, die Fotolithografie zur Herstellung hochintegrierter Halbleiter-Bauelemente oder die Mikro-Materialbearbeitung (z. B. das „Bohren“ extrem feiner Düsen für Tintenstrahldrucker). (de)
- Excimerlaser sind Gaslaser, die elektromagnetische Strahlung im ultravioletten Wellenlängenbereich erzeugen können. Anwendungsbeispiele sind die operative Korrektur der Kurzsichtigkeit, die Fotolithografie zur Herstellung hochintegrierter Halbleiter-Bauelemente oder die Mikro-Materialbearbeitung (z. B. das „Bohren“ extrem feiner Düsen für Tintenstrahldrucker). (de)
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- Excimerlaser (de)
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