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- Ein Bubbler bzw. Bubbler-System, manchmal auch als Dampfdrucksättiger bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD). Sein Zweck ist es dabei, die als Ausgangsstoffe (Prekursoren) verwendeten metallorganischen Verbindungen in einen gesättigten Dampf zu überführen und diesen mithilfe von eingeleiteten Gasbläschen eines inerten Trägergases (Argon, Stickstoff oder auch Wasserstoff) durch Mitnahme kontrolliert in die Reaktionskammer zu leiten. (de)
- Ein Bubbler bzw. Bubbler-System, manchmal auch als Dampfdrucksättiger bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD). Sein Zweck ist es dabei, die als Ausgangsstoffe (Prekursoren) verwendeten metallorganischen Verbindungen in einen gesättigten Dampf zu überführen und diesen mithilfe von eingeleiteten Gasbläschen eines inerten Trägergases (Argon, Stickstoff oder auch Wasserstoff) durch Mitnahme kontrolliert in die Reaktionskammer zu leiten. (de)
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- Ein Bubbler bzw. Bubbler-System, manchmal auch als Dampfdrucksättiger bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD). Sein Zweck ist es dabei, die als Ausgangsstoffe (Prekursoren) verwendeten metallorganischen Verbindungen in einen gesättigten Dampf zu überführen und diesen mithilfe von eingeleiteten Gasbläschen eines inerten Trägergases (Argon, Stickstoff oder auch Wasserstoff) durch Mitnahme kontrolliert in die Reaktionskammer zu leiten. (de)
- Ein Bubbler bzw. Bubbler-System, manchmal auch als Dampfdrucksättiger bezeichnet, ist ein Bestandteil einer Anlage zur metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidung (MOCVD) und Atomlagenabscheidung (ALD). Sein Zweck ist es dabei, die als Ausgangsstoffe (Prekursoren) verwendeten metallorganischen Verbindungen in einen gesättigten Dampf zu überführen und diesen mithilfe von eingeleiteten Gasbläschen eines inerten Trägergases (Argon, Stickstoff oder auch Wasserstoff) durch Mitnahme kontrolliert in die Reaktionskammer zu leiten. (de)
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- Bubbler (de)
- Bubbler (de)
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