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Unter dem Begriff Technische Sauberkeit ist die hinreichend geringe Kontamination sauberkeitssensibler technischer Bauteile mit schädlichen Partikeln zu verstehen. Sind die unvermeidlichen Partikelverunreinigungen – auch Restschmutz genannt – in einem technischen System so gering, dass es zu keinen kurzfristigen oder langfristigen Funktionseinschränkungen und Systemschädigungen kommt, so gilt das System im Sinne der Technischen Sauberkeit als hinreichend sauber.
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