Die Rotationsbeschichtung (engl. spin coating auch spin-on) ist ein Verfahren zum Auftragen dünner und gleichmäßiger Schichten bzw. Filme auf einem Substrat. Zum Aufschleudern eignen sich alle in Lösung vorliegenden Materialien, wie der in der Mikroelektronik verwendete Fotolack.
| Property | Value |
|---|---|
| dbo:abstract |
|
| dbo:originalTitle |
|
| dbo:thumbnail | |
| dbo:wikiPageExternalLink | |
| dbo:wikiPageID |
|
| dbo:wikiPageRevisionID |
|
| prop-de:autor |
|
| prop-de:band |
|
| prop-de:doi |
|
| prop-de:format |
|
| prop-de:hrsg |
|
| prop-de:jahr |
|
| prop-de:kommentar |
|
| prop-de:sammelwerk |
|
| prop-de:seiten |
|
| prop-de:sprache |
|
| prop-de:titel |
|
| prop-de:url | |
| prop-de:zugriff |
|
| dct:subject | |
| bibo:pages |
|
| rdf:type | |
| rdfs:comment |
|
| rdfs:label |
|
| owl:sameAs | |
| prov:wasDerivedFrom | |
| foaf:depiction | |
| foaf:isPrimaryTopicOf | |
| is dbo:wikiPageRedirects of | |
| is foaf:primaryTopic of |
