. . "2554431"^^ . . . . "Novolake (f\u00E4lschlicherweise oft Novolacke) sind Phenolharze mit einem Formaldehyd-Phenol-Verh\u00E4ltnis kleiner als 1:1, die durch saure Kondensation der Edukte erhalten werden. Novolake sind thermoplastisch und k\u00F6nnen durch Zus\u00E4tze von Formaldehydspendern wie z. B. Hexamethylentetramin geh\u00E4rtet werden. Dies ergibt dann unschmelzbare Phenoplaste. Novolake werden in der Regel durch einen Spin Coater auf ein Substrat aufgeschleudert und es k\u00F6nnen Resistdicken bis hin zu einigen 10 \u00B5m pro Belackungsschritt erreicht werden. F\u00FCr gr\u00F6\u00DFere Schichtdicken empfiehlt sich PMMA."@de . "Novolake (f\u00E4lschlicherweise oft Novolacke) sind Phenolharze mit einem Formaldehyd-Phenol-Verh\u00E4ltnis kleiner als 1:1, die durch saure Kondensation der Edukte erhalten werden. Novolake sind thermoplastisch und k\u00F6nnen durch Zus\u00E4tze von Formaldehydspendern wie z. B. Hexamethylentetramin geh\u00E4rtet werden. Dies ergibt dann unschmelzbare Phenoplaste. Kombiniert mit fotosensitiven Substanzen, wie beispielsweise Diazonaphthochinon, werden Novolake in der Mikroelektronik und Mikromechanik zur Fotolithografie als Fotolack eingesetzt. Nach Belichtung und Entwicklung bleibt eine strukturierte Lackoberfl\u00E4che \u00FCbrig, die das Substrat vor dem n\u00E4chsten Prozessschritt (z. B. Ionenimplantation, galvanisches Aufwachsen von Metall, thermische Oxidation, \u00C4tzen etc.) sch\u00FCtzen. Novolake werden in der Regel durch einen Spin Coater auf ein Substrat aufgeschleudert und es k\u00F6nnen Resistdicken bis hin zu einigen 10 \u00B5m pro Belackungsschritt erreicht werden. F\u00FCr gr\u00F6\u00DFere Schichtdicken empfiehlt sich PMMA."@de . . . . . . "149087195"^^ . "Novolak"@de . . .