"Ionenspuren werden durch schnelle schwere Ionen auf ihrem Weg durch einen Festk\u00F6rper erzeugt. Sie entsprechen strukturell ver\u00E4nderten Bereichen mit einem Durchmesser von 6\u20138 Nanometern und k\u00F6nnen mit folgenden Techniken untersucht werden: Rutherfordr\u00FCckstreuung (RBS), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Neutronenkleinwinkelstreuung (SANS), R\u00F6ntgenkleinwinkelstreuung (SAXS), Gaspermeation.Ionenspuren k\u00F6nnen in vielen isolierenden Festk\u00F6rpern selektiv ge\u00E4tzt werden. Als Ergebnis entstehen Kegel oder Zylinder mit Durchmessern bis herab zu 8 Nanometern.Ionenspuren k\u00F6nnen in Mineralien Millionen von Jahren \u00FCberdauern. Aus ihrer Dichte l\u00E4sst sich die Zeit bestimmen, zu der das Mineral aus seiner Schmelze erstarrt ist. In der Spaltspurdatierung dienen Ionenspuren als geologische Uhren. Ionenspurtechnologie ist die Anwendung von Ionenspuren in Mikro- und Nanotechnologie. Ge\u00E4tzte Spurzylinder k\u00F6nnen als Filter genutzt werden, als Z\u00E4hl\u00F6ffnungen, sie k\u00F6nnen durch Monolagen ver\u00E4ndert werden, oder durch elektrochemische Abscheidung gef\u00FCllt werden. Das klassische Paradigma des Atoms als unteilbarem Grundbaustein der Materie wurde im 19. Jahrhundert durch Experimente best\u00E4tigt. Anfang des 20. Jahrhunderts wurden Atome nachgewiesen. Ab Mitte des 20. Jahrhunderts wurden einzelne Atome als Mikrowerkzeug eingesetzt. Hiervon handelt der vorliegende Artikel. In der Mikrotechnologie werden die mechanischen Werkzeuge der Makrowelt zunehmend durch Bestrahlungsverfahren ersetzt. Photonen und Elektronen werden dazu eingesetzt, die L\u00F6slichkeit von strahlungsempfindlichen Polymeren, sogenannten Resists, zu erh\u00F6hen oder zu verkleinern. Als strukturgebendes Element werden Masken eingesetzt. Sie sch\u00FCtzen den Resist vor der Bestrahlung. Die nicht abgedeckten Bereiche ver\u00E4ndern ihre nasschemische L\u00F6slichkeit und ihre Best\u00E4ndigkeit gegen Abtragung durch Ionenzerst\u00E4ubung. Typische Produkte der Mikrotechnik sind Integrierte Schaltkreise und mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Gegenw\u00E4rtig wird die Mikrotechnologie zur Nanotechnologie verfeinert. Hierbei werden zunehmend Ionen eingesetzt. Ein neuer Zweig dieser Technologie beruht auf der Strukturgebung durch energiereiche schwere Ionen. Aufgrund ihrer hohen Energiedichte lassen sich mit einzelnen Ionen Mikro- und Nanostrukturen herstellen."@de . . . . "4208228"^^ . "158731354"^^ . . . "Ionenspur"@de . . . . "Ionenspuren werden durch schnelle schwere Ionen auf ihrem Weg durch einen Festk\u00F6rper erzeugt. Sie entsprechen strukturell ver\u00E4nderten Bereichen mit einem Durchmesser von 6\u20138 Nanometern und k\u00F6nnen mit folgenden Techniken untersucht werden: Rutherfordr\u00FCckstreuung (RBS), Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Neutronenkleinwinkelstreuung (SANS), R\u00F6ntgenkleinwinkelstreuung (SAXS), Gaspermeation.Ionenspuren k\u00F6nnen in vielen isolierenden Festk\u00F6rpern selektiv ge\u00E4tzt werden. Als Ergebnis entstehen Kegel oder Zylinder mit Durchmessern bis herab zu 8 Nanometern.Ionenspuren k\u00F6nnen in Mineralien Millionen von Jahren \u00FCberdauern. Aus ihrer Dichte l\u00E4sst sich die Zeit bestimmen, zu der das Mineral aus seiner Schmelze erstarrt ist. In der Spaltspurdatierung dienen Ionenspuren als geologische Uhren."@de . .