"Bund , L\u00E4nder"^^ . . . . . . . . . . . "150"^^ . "landmark"^^ . . "2852267"^^ . "Das Fraunhofer-Institut f\u00FCr Siliziumtechnologie ISIT, auch in der Kurzbezeichnung \u201EFraunhofer ISIT\u201C genannt, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur F\u00F6rderung der angewandten Forschung e. V. (FhG) und hat seinen Sitz in Itzehoe. Seine Aktivit\u00E4ten sind der angewandten Forschung und Entwicklung im Fach Ingenieurwissenschaft auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik, der Mikroelektronik und der Mikromechanik zuzuordnen."@de . . . . . . "DE-SH"^^ . "Angewandte Forschung" . "5274362-7" . . "Das Fraunhofer-Institut f\u00FCr Siliziumtechnologie ISIT, auch in der Kurzbezeichnung \u201EFraunhofer ISIT\u201C genannt, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur F\u00F6rderung der angewandten Forschung e. V. (FhG) und hat seinen Sitz in Itzehoe. Seine Aktivit\u00E4ten sind der angewandten Forschung und Entwicklung im Fach Ingenieurwissenschaft auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik, der Mikroelektronik und der Mikromechanik zuzuordnen."@de . "Siliziumtechnologie ISIT"^^ . "155376944"^^ . . "Fraunhofer-Institut f\u00FCr"^^ . "Datei:Fraunhofer-ISIT-Logo.svg"^^ . . . "k"^^ . "9"^^ . . . . . . . "Wolfgang Benecke"^^ . "Fraunhofer-Institut f\u00FCr Siliziumtechnologie"@de . . . "53"^^ . .