"Fraunhofer-Institut f\u00FCr Photonische Mikrosysteme"@de . . . . . . "51125519"^^ . . . . . "Fraunhofer-Institut f\u00FCr"^^ . . . . . "4050721"^^ . "13784272"^^ . "Bund , L\u00E4nder"^^ . . . "Angewandte Forschung" . . "landmark"^^ . . . . . . "DE-SN"^^ . "Photonische Mikrosysteme"^^ . . . . "k"^^ . "10086963-4" . . . "Das Fraunhofer-Institut f\u00FCr Photonische Mikrosysteme (IPMS), auch in der Kurzbezeichnung \u00BBFraunhofer IPMS\u00AB genannt, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur F\u00F6rderung der angewandten Forschung e.V. (FhG) und hat seinen Sitz in Dresden. Seine Aktivit\u00E4ten sind der angewandten Forschung und Entwicklung in den F\u00E4chern Mikrosystemtechnik, Halbleiterphysik, Mikroelektronik, Elektronik-Design und Photophysik (v. a. Photonik, Optik und Nanotechnologie) zuzuordnen."@de . "153701209"^^ . "280"^^ . . . "Das Fraunhofer-Institut f\u00FCr Photonische Mikrosysteme (IPMS), auch in der Kurzbezeichnung \u00BBFraunhofer IPMS\u00AB genannt, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur F\u00F6rderung der angewandten Forschung e.V. (FhG) und hat seinen Sitz in Dresden. Seine Aktivit\u00E4ten sind der angewandten Forschung und Entwicklung in den F\u00E4chern Mikrosystemtechnik, Halbleiterphysik, Mikroelektronik, Elektronik-Design und Photophysik (v. a. Photonik, Optik und Nanotechnologie) zuzuordnen."@de . . .