. . "Christoph Kutter"^^ . . "110"^^ . . . "Die Fraunhofer-Einrichtung f\u00FCr Mikrosysteme und Festk\u00F6rper-Technologien (Fraunhofer EMFT) ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur F\u00F6rderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Die Einrichtung hat ihren Sitz in M\u00FCnchen und betreibt angewandte Forschung und Entwicklung an Sensoren und Aktoren f\u00FCr Mensch und Umwelt. Die Einrichtung hat langj\u00E4hrige Erfahrung in den Bereichen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Fraunhofer EMFT ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (V\u00B5E), dem zehn Fraunhofer-Institute und drei Fraunhofer-Einrichtungen angeh\u00F6ren."@de . . . . . "Angewandte Forschung" . . . "Fraunhofer-Einrichtung f\u00FCr Mikrosysteme und Festk\u00F6rper-Technologien"@de . . "6579649"^^ . . . . . . "Die Fraunhofer-Einrichtung f\u00FCr Mikrosysteme und Festk\u00F6rper-Technologien (Fraunhofer EMFT) ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur F\u00F6rderung der angewandten Forschung e.V. (FhG). Die Einrichtung hat ihren Sitz in M\u00FCnchen und betreibt angewandte Forschung und Entwicklung an Sensoren und Aktoren f\u00FCr Mensch und Umwelt. Die Einrichtung hat langj\u00E4hrige Erfahrung in den Bereichen Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik. Fraunhofer EMFT ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (V\u00B5E), dem zehn Fraunhofer-Institute und drei Fraunhofer-Einrichtungen angeh\u00F6ren."@de . . "Bund , L\u00E4nder"^^ . . . . . "Fraunhofer-Einrichtung f\u00FCr Mikrosysteme und Festk\u00F6rper-Technologien"^^ . . "158266672"^^ . . .