. . "42476"^^ . . . . "Eine Dotierung oder das Dotieren (von lateinisch dotare, ,ausstatten\u2018) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder in das Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die bei diesem Vorgang eingebrachte Menge ist dabei sehr klein im Vergleich zum Tr\u00E4germaterial (zwischen 0,1 und 100 ppm). Die Fremdatome sind St\u00F6rstellen im Halbleitermaterial und ver\u00E4ndern gezielt die Eigenschaften des Ausgangsmaterials, meistens die elektrische Leitf\u00E4higkeit oder die Kristallstruktur. Dabei kann bereits eine geringf\u00FCgige Fremdatomdichte eine sehr gro\u00DFe \u00C4nderung der elektrischen Leitf\u00E4higkeit bewirken."@de . "Eine Dotierung oder das Dotieren (von lateinisch dotare, ,ausstatten\u2018) bezeichnet in der Halbleitertechnik das Einbringen von Fremdatomen in eine Schicht oder in das Grundmaterial eines integrierten Schaltkreises. Die bei diesem Vorgang eingebrachte Menge ist dabei sehr klein im Vergleich zum Tr\u00E4germaterial (zwischen 0,1 und 100 ppm). Die Fremdatome sind St\u00F6rstellen im Halbleitermaterial und ver\u00E4ndern gezielt die Eigenschaften des Ausgangsmaterials, meistens die elektrische Leitf\u00E4higkeit oder die Kristallstruktur. Dabei kann bereits eine geringf\u00FCgige Fremdatomdichte eine sehr gro\u00DFe \u00C4nderung der elektrischen Leitf\u00E4higkeit bewirken. Es gibt verschiedene Dotierungsverfahren, z. B. Diffusion, Elektrophorese, Resublimation oder Beschuss mittels hochenergetischen Teilchenkanonen unter Vakuum (Ionenimplantation)."@de . . "156033933"^^ . . . . . . . . . . . "Dotierung"@de . . . .